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合肥抛光剂厂家承诺守信「昆山韩铝」

发布时间:2022-02-13 02:59:29        







CMP技术的概念是1965年由Manto提出。该技术是用于获取高质量的玻璃表面,如望远镜等。1988年IBM开始将CMP技术运用于4MDRAM 的制造中,而自从1991年IBM将CMP成功应用到64MDRAM 的生产中以后,CMP技术在世界各地迅速发展起来。区别于传统的纯机械或纯化学的抛光方法,CMP通过化学的和机械的综合作用,从而避免了由单纯机械抛光造成的表面损伤和由单纯化学抛光易造成的抛光速度慢、表面平整度和抛光一致性差等缺点。它利用了磨损中的“软磨硬”原理,即用较软的材料来进行抛光以实现高质量的表面抛光。




1.化学抛光设备简单,可根据每批所处理的产品数量而设计建成,造价低。

2.化学抛光不需要直流电源和电挂具。

3.特别适合抛光大型的各种材料建材或形状复杂的大型零部件。

&nbs自己设计木材切割机p; 4.可以同时抛光很多工件,效率很高。主要用于工件的装饰性加工。

5.溶液寿命短,消耗大,再生困难。

6.抛光过程中会产生酸雾或***气体,不利于工人健康及环境保护。

&nb木材切割机械sp;  7.抛光后,工件表面的粗糙度较其他方法得出的大。







抛光加工的机理

抛光切削加工、塑性加工和化学作用的综合过程。 微细磨粒进行的是切削加工,摩擦引起高温而产生挤擦工件表面层的是塑性加工,抛光剂的介质在温度和压力作用下与金属表面层发生的是化学作用。


抛光加工的种类

1、机械抛光:机械抛光是靠切削、材料表面塑性变形去掉被抛光后的凸部而得到平滑面的抛光方法

2、化学抛光:化学抛光是让材料在化学介质中表面微观凸出的部分较凹部分优先溶解,从而得到平滑面。

3、电解抛光:电解抛光基本原理与化学抛光相同,即靠选择性的溶解材料表面微小凸出部分,使表面光滑。

4、超声波抛光 :将工件放入磨料悬浮液中并一起置于超声波场中,依靠超声波的振荡作用,使磨料在工件表面磨削抛光。

5、流体抛光 :流体抛光是依靠高速流动的液体及其携带的磨粒冲刷工件表面达到抛光的目的。







半导体行业CMP技术还广泛的应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路中(ULSI)对基体材料硅晶片的抛光。随着半导体工业的急速发展,对抛光技术提出了新的要求,传统的抛光技术(如:基于淀积技术的选择淀积、溅射等)虽然也可以提供“光滑”的表面,但却都是局部平面化技术,不能做到全局平面化,而化学机械抛光技术解决了这个问题,它是可以在整个硅圆晶片上平坦化的工艺技术。




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